分子泵啟動(dòng)時(shí)進(jìn)氣口氣壓不得高于1×10^-1 Pa。這是因為在高氣壓環(huán)境下,分子泵無(wú)法正常工作,可能會(huì )導致設備損壞或效率低下。
分子泵是一種高速旋轉的機械泵,對平衡要求高且對固體異物非常脆弱。通常需要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)以保護設備。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類(lèi)的影響,但其*限壓強可達10^-8 Pa,對輕分子/原子的排氣速度會(huì )有所降低。
如果分子泵在高于1×10^-1 Pa的環(huán)境下啟動(dòng),可能會(huì )導致設備損壞或工作效率低下。這是因為高氣壓環(huán)境下,氣體分子間的碰撞頻繁,會(huì )影響分子泵的正常運轉。